東方金榮提供利用先進超聲波噴涂技術的半導體晶圓光刻膠涂覆解決方案,相比于旋涂、浸涂等傳統工藝有著均勻度高、對微結構包裹好、任意面積涂覆等優勢。東方金榮超聲噴涂系統可良好的控制噴涂流量、涂覆速度和載料量,極低的載氣流量確保了噴涂面積的精確性,并極大程度的避免的過噴問題,是傳統空氣噴涂的4倍以上原料利用率。
對半導體晶圓的精密清洗方式為兆聲清洗。兆聲清洗技術一直被美國和日本等發達國家所掌控,東方金榮經過多年研發,已成功研制出最高可達到3000kHz的兆聲波清洗技術。
東方金榮利用先進的超聲波噴涂技術進行電路板助焊劑涂覆,相比于傳統二流體噴涂方式,其具有更高的均勻度、精度、減少原料浪費從而降低VOCs排放、以及更低的系統維護費用。
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